1비상 백업
2By-Pass 모듈
333방향 자동 밸브
1터치 스크린: P.M 모드 전환
2N2 퍼지: 10분 동안 실행
(남아 있는 유독 가스 제거)
3수동 밸브 닫기
4클램프 잠금 해제
5주요 모듈을 꺼내내기
6준비된 것으로 교체하기
(주요 모듈에 흡착제를 포함)
7가루와 부식 방지
모든 안전 장치가 작동되어야 합니다
가스 누출, 화재 및 폭발을 방지하기 위한 안전 장치가 있습니다.
과정 | 가스 |
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IMP | PH3,ASH3,BF3 |
Diffusion | HF,Cl2,NH3..(Acid, Alkali) |
항목 | 상세설명 |
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모델명 | TCKOA-S2 |
처리 유형 | Adsorbent |
응용 분야 | IMP, Chemical (Acid, Alkali) |
용량 | ~200LPM (Customize) |
작동 유형 | Automatic (PLC base TOUCH screen) |
규격 (W×D×H, mm) | Scrubber 800×800×1,610 |
중량 (kg) | 600 kg |
전력 | 1-Phase, 208Vac., 50/60Hz Max. consumption Power / 800 |
항목 | 상세설명 | ||
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특징 | 연결 | ||
Inlet | 2~4 Port | NW50 KF | |
N2 | 5~10 LPM (4~5kg/cm2) | 3/8", Swagelok | |
Exhaust | Capacity | -40 ~ -80mmH2O | NW 100 MF Flange |
Capacity | -40 ~ -80mmH2O | NW 100 MF Flange |