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Heat Wet Scrubber
Heat Wet Scrubber
Product Overview
-
1본체
- 자체 난방 청소 시스템
- 독성 가스로부터 히터 보호
- 가루날림 없음
- 처리 시간에 충분/li>
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2냉각 장치
- 듀얼 냉각 시스템
- 가루 및 부식 방지
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3습식 탱크
- 쉬운 점검
- 쉬운 유지보수
- 가루 제거 용이
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4습식 타워
- 배출 전 가스를 완전히 냉각 가능
- 고성능 습식 타워
Advantage
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1고성능
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2열 제어 기술
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3안전한 운영
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4자체 히터 청소 시스템
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5쉬운 유지보수(틸팅 챔버)
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6가루 및 부식 방지
Application
| 과정 | 가스 |
|---|---|
| CVD/PVD | SiH4, NF3, WF6, B2H6, TEOS, TDMAT, C3H6, Etc. |
| Diffusion | SiH4, TEOS, DCS, NH3, ClF3, B2H6, Etc. |
Specification
| 항목 | 상세설명 |
|---|---|
| 모델명 | TCKTW-S6 (Single Type) |
| 처리 유형 | Heater+ Wet |
| 응용분야 | Diffusion, CVD, PVD Process |
| 용량 | 600LPM(Max) |
| 작동 유형 | Automatic (PLC base TOUCH screen) |
| 규격 (W×D×H, mm) | Scrubber 800*985*1600 |
| 중량 (kg) | 600 kg |
| 전력 | 3-Phase, 208Vac., 50/60㎐ Main Circuit Breaker / 75A Max. Power Consumption / 15kW Normal operating(Avg.) / 4kW |
Utility
| 항목 | 상세설명 | ||
|---|---|---|---|
| 특징 | 연결 | ||
| Inlet | 2~6 Port | NW40 KF FLANGE | |
| N2 | 4~5 kg/cm2 | 3/8", Swagelok | |
| CDA | 4~5 kg/cm2 | 3/8", Swagelok | |
| PCW | 4~5 kg/cm2 | 3/8", Swagelok or NPT | |
| City Water | 1~3 kg/cm2 | 3/8", Swagelok or NPT | |
| Drain | Pumping Drain | 3/4” PT Female PVC | |
| Exhaust | Gas Exhaust | -40 ~ -80mmH2O | ISO 100 MF Flange |
| Thermal Exhaust | -40 ~ -80mmH2O | ISO 100 MF Flange | |