2023
플라즈마 스크러버 설치 (VISHAY TAIPEI)
대용량 플라즈마 스크러버 대량 주문 수주(HONGJUN Solar Fabs)
플라즈마 스크러버 설치 (Global Foundries Singapore)
2022
대용량 플라즈마 스크러버 대량 주문 수주(Ouhao/huasheng Solar Fabs)
플라즈마 스크러버 설치(SSMC Singapore)
2020
Silan 12”Fabs 대량 턴키 주문 수주
SMIC 12”/12” Fabs 대량 주문 수주
2018
중국-현지화 프로그램 성공으로 중국 시장 진입
중국 대형펀드사와 새로운 합자회사 설립
2017
반도체소자제조공정에 DeNox Volume 설치
2016
플라즈마 스크러버 및 열습식 스크러버 대량 설치
2015
플라즈마 스크러버 설치
at SMIC 12”/8” Fabs
2014
SMIC 베이징에 플라즈마 스크러버 설치
2013
전자파 플라즈마 설치
삼성(한국, 중국), SK하이닉스(한국, 중국)
2009
중국 지사 설립(제조설비포함)
2006
국내 모기업 설립(플라즈마 응용 연구개발)